一种晶圆切割PO保护膜用UV减粘胶及制备方法
申请公布号：CN119899601A
申请人：西安航天三沃化学有限公司
摘要：本发明涉及压敏胶技术领域，尤其涉及一种晶圆切割PO保护膜用UV减粘胶及制备方法。所述UV减粘胶的制备原料包括A组分和B组分：按照质量百分比计，所述A组分包括97‑99.5％丙烯酸酯聚合物，余量光引发剂；所述B组分包括固化剂；所述丙烯酸酯聚合物为含有不饱和支链的丙烯酸酯聚合物。本发明提供的光热固化UV减粘胶能够很好地用于半导体晶圆切割PO保护膜，将此胶涂布在PO膜基材表面固化形成胶粘层后，具有很好的耐酸碱性、耐高温性、耐切削液及对晶圆片具有较高的的粘接力，可以替代传统的丙烯酸酯热固化胶层，满足市场指标要求。
发明内容（节选）：本发明选择功能交联单体为季戊四醇三丙烯酸酯、丙烯酸羟乙酯,使其分别与异佛尔酮二异氰酸酯反应,制备得到含有不饱和双键和异氰酸酯基的聚氨酯丙烯酸酯预聚物,分别记为低聚物A或低聚物B。经过实验探究,当反应时-0H与-NC0的摩尔比不同,即低聚物A或低聚物B在丙烯酸酯聚合物中的接枝量不同时,最终UV减粘胶的UV固化前后的剥离强度具有明显的差异,且UV减粘胶的高温稳定性也有优劣之分;只有保持适当的摩尔比,最终得到的UV减粘胶才能够在UV固化后剥离强度降至趋近于0、易于剥离,且高温处理后无残胶。
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