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半导体用胶粘剂如何选择?

来源:互联网2025年12月08日

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半导体制造过程中,电子胶粘剂广泛应用于多个环节,从晶圆制备到最终封装,每个阶段都有特定的用胶需求。
那么,半导体制造中的主要用胶点及其作用又是什么呢?
 
 
 
01晶圆制备阶段
 
1、晶圆背面研磨胶:
 
✦ 作用:在晶圆剪薄过程中临时固定晶圆,保护电路面免受机械损伤。
✦ 要求:高粘附力(防止晶圆移位)、低残留(易剥离)、耐冷却液腐蚀。
 
2、晶圆切割胶:
 
✦ 作用:在切割晶圆时固定芯片,防止碎片飞散。
✦ 类型:UV胶(紫外线照射后粘性降低,便于芯片拾取)或热释放胶。
 
3、临时健合胶:
 
✦ 应用:用于3D IC或薄晶圆(<100μm)加工,将晶圆临时粘接到载具上,完成加工后剥离。
✦ 材料:光敏胶或热滑移胶(如 Brewer Science的临时键合材料)。
 
 
 
 
 
02芯片封装阶段
 
1、芯片粘接胶:
 
✦ 作用:将芯片粘接到基板或引线框架上,分为导电型(含银/铜填料)和绝缘型(环氧树脂)。
✦ 关键性能:高导热(功率器件)、低固化收缩率、耐高温回流焊(260℃以上)。
 
2、底部填充胶:
 
✦ 应用:用于倒装焊封装,填充芯片与基板间的间隙,缓解热应力。
✦ 要求:低黏度(毛细流动)、高可靠性(抗热循环开裂)。
 
3、密封材料:
 
✦ 类型:
环氧模塑料:通过转移成型工艺包封芯片,占传统封装主流。
液态密封胶:用于传感器、MEMS等特殊器件。
✦ 功能:防潮、防机械冲击、防化学腐蚀。
 
4、导热界面材料:
 
✦ 作用:填充芯片与散热器之间的空隙,改善散热(如CPU、GPU封装)。
✦ 形式:导热硅脂、凝胶、相变材料(PCM)。
 
 
 
 
 
03板级组装与系统集成
 
1、贴片胶:
 
✦ 应用:在表面贴装中临时固定元件,防止回流焊时移位。
✦ 材料:丙烯酸酯或环氧胶,需耐高温(峰值温度>250℃)。
 
2、导电银胶:
 
✦ 用途:替代焊锡连接元件,适用于柔性电路或低温工艺。
✦ 优势:无铅环保、适用于热敏感基材(如PET)。
 
3、三防胶:
 
✦ 作用:涂覆在PCB表面,防潮、防盐雾、防霉菌。
✦ 材料:丙烯酸、聚氨酯或硅胶。
 
 
 
 
 
04特殊工艺用胶
 
1、光刻胶:
 
✦ 严格分类:虽不属于传统胶粘剂,但作为光刻工艺中的“临时粘附层”,用于图形转移。
✦ 类型:正胶(曝光部分溶解)和负胶(曝光部分固化)。
 
2、晶圆级封装用胶:
 
✦ 再布线层粘接:用于Fan-Out封装中的介电层粘接。
✦ 微凸点填充:确保互连可靠性。
 
3、MEMS封装胶:(MEMS 是 微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的缩写,是一种将微型机械结构、传感器、执行器(actuator)和电子电路集成在半导体芯片上的技术。它结合了微电子和微机械技术,广泛应用于消费电子、医疗、汽车、工业等领域。)
 
✦ 需求:低应力、气密性封装、(如加速度计、陀螺仪)。
✦ 材料:硅胶或玻璃浆料。
 
 
 
 
 
05可靠性测试中的用胶
 
1、失效分析临时固定胶:用于芯片开封时固定样品。
 
2、探针测试胶:临时粘接晶圆至测试载板,确保电接触稳定性。
 
 
 
 
 
06核心挑战与趋势
 
1、微型化需求:
✦ 胶粘剂需适应更窄的间隙(如3D IC中<10μm的键合层)。
 
2、高导热材料:
✦ 氮化硼、金刚石填料提升导热性能(>10 W/mK)。
 
3、环保合规:
✦ 无卤素、低挥发(VOC)配方成为行业标准。
 
 
 
 
 
· 综上所述 ·
半导体制造中的用胶点贯穿全流程,胶粘剂的性能直接影响器件良率、可靠性和寿命。随着先进封装的发展,新型胶粘剂将成为突破技术瓶颈的关键之一。
 
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