3月26日,威迈芯材(合肥)半导体有限公司年产100吨半导体高端光刻材料项目基仪式举行。项目总投资3亿元。旨在打造国内最大的高端半导体DUV级别(ArF/KrF)的光刻胶核心主材料量产基地。产品包括光致产酸剂PAG、BARC层树脂Resin、光引发剂PI等,同时也提供每个最终产品的中间体及核心单体材料,规划建设年产能100吨,将于年底竣工并投入使用。
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